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微電子學論文范文1
微電子論文3100字(一):微電子控制機電設備在工業中的具體應用論文
摘要:在科學技術快速進步的背景下,工業自動化水平取得了比較明顯的提升,在機械制造方面表現的更加明顯,基于各種因素的影響,微電子技術得到了相對廣泛的應用?;诖?,本文詳細分析了微電子控制機電設備在工業中的應用,希望能夠為實際提供良好的借鑒意義,以供參考。
關鍵詞:微電子;機電設備;工業;應用探討
信息技術的發展以及先進電子設備的產生催生了機電一體化時代的到來,所謂的機電一體化技術是把電工電子技術、機械技術、信息技術、微電子技術、接口技術、傳感器技術、信號變換技術等一系列技術結合,再綜合應用于實際的綜合技術,現代化自動生產設備可以說為機電一體化的設備。微型計算機在機電一體化系統的作用能夠總結成如下三點:第一,直接控制機械工業生產過程;第二,機械工業生產期間加強各物理參數的自動測試,進行測試結果的顯示記錄,在計算、存儲、分析判定并處理測量參數或指標;第三,進行機械生產過程的管理與監督。機電一體化系統里微電子控制機電設備怎樣進行適宜計算機選擇,怎樣設計硬件系統,怎樣組織軟件開發,怎樣對現有計算機系統等進行維護與使用是相當關鍵的,也是值得探索的
課題。
1微電子控制機電設備系統的組成和原理
在某微電子控制機電系統當中,主要是由PLC、管路壓力變送器、變頻器等多種設備組成的。在控制系統當中,管路壓力變送器主要是檢測控制輔助沖量、管路水壓、蒸發量等三個變量,接著將數據信號向PLC當中傳送,并且通過PLC進行分析和計算,將信號發送信號控制器,通過信號控制器來控制水泵運轉,在設計系統的過程中需要與實際情況合理的進行結合,并且對變頻器的輸出頻率進行確認,輸出頻率在整個系統設計過程中具有非常重要的意義,和系統的控制息息相關,在確定系統輸出頻率是需要綜合性的分析和考慮用水量以及揚程參數等。在整個系統當中控制流程的用水量變化,主要是通過壓力變送器向PLC傳送的通過PLC進行分析和計算,可以有效的調節循環泵的頻率,合理的分配能源,讓工作的效率提高,起到節約資源的
作用。
2微電子控制機電設備在工業中的具體應用
1)可編程序控制器(PLC)的應用。從PLC的角度進行分析,其主要優勢在于具有很強的控制能力,而且穩定性較高,機身體積相對較小,可以有效的和其他的配件進行組合。在工業生產的過程中,因為機電設備往往會占據一定的面積,如果想讓其廠房中的占比較高,就一定要注意讓廠房的空余面積加大,盡量讓控制器的數量減少,讓機電設備的數量增多,與此同時還需要注意PLC的節能性較高相比,其他的控制系統可以節約資源,讓工業生產的成本支出降低,讓企業的經濟效益增加,由于PLC設備可以有效的和其他設備之間進行組合,可以靈活方便的在廠房當中進行布設,讓一機多用??梢詫崿F讓廠房的設備結構進一步得到簡化,對設備維護中耗費的人力物力進行控制,減少人力輸出,可以將人力有效的分配到工業生產當中,讓生產資料的利用效率提高。PLC的另一大優勢在于可以通過現場總線和生產設備之間
進行連接,有效的監控工業生產,可以動態化的監控生產的全過程,確保在生產過程中,第一時間解決生產時產生的故障,避免由于機械故障而導致生產進度停滯,讓設備的維護開支得到控制,PLC的計算速度很快,可以輕松的對生產時的任何變動進行管理和控制,有效的防止由于設備變化控制器無法及時應對而產生的問題,PLC還可以進行相關的升級,伴隨當前經濟快速發展,就算生產線當中的產品產生了變動,只需要正確的調整,控制程序也可以符合新產品生產的具體需求。
相比于其他編程操作,PLC控制器在編程的過程中較為方便,員工通過短時間的訓練就可以熟練的掌握編程的技巧,在實際操作的過程中工作步驟相對較為簡單,可以很容易的掌握設備的維修安裝以及操作,由于PLC自帶程序編輯器只需要工作人員了解梯形語言,就可以對其進行熟練的掌握。對控制器的工作語言進行了解,當出現故障的時候可以及時的調整和處理控制器。
2)變頻器調速器的作用。變頻器工作狀態分作自動與手動兩類,手動工作狀態即在PLC結束工作后展開的人工操作行為,經電位器調節能對變頻器輸出頻率進行給定。自動工作狀態實質是PLC輸出信號為變頻器輸出頻率展開控制。和傳統調節閥控制方式相比,PLC控制可節電,更好進行水泵磨損控制,在延長設備壽命與實現系統自動化水平提升中發揮了重要作用。
第一,和傳統正弦波控制技術相比,因變頻器用到了電壓空間矢量控制技術,先進性和獨特性在性能上得到充分凸顯,同時因其特有的低速轉矩大、運行穩定性強、諧波成分小等特征,這對我國電網而言輸出電壓自動調整功能能充分進行優勢發揮。第二,變頻器具備外部端子、鍵盤電位器與多功能段子等一系列操作方式,功能完善,可輸入多種模擬信號(如電流、電壓、頻率等效范圍檢測,轉速追蹤等);并且變頻器可實現擺頻運行與程序運行等一系列模式。第三,因變頻器全系列元件應用的是西門子產品,有極強的保護性能,可靠穩定,能很好的避免過流、短路、過壓等問題,確保本機能正常運行。并且變頻器有良好的絕緣耐壓性,產品質量好,設定簡單等使得其有更強的適用性。
3)電路發揮的作用。在安裝PLC和變頻器的時候,保證電路的穩定是保障工作的必要。電路在安裝過程中,應該采取邊安裝邊測電的方式,這樣更能使電流穩定,這同樣屬于工作期間需引起重視的關鍵環節。在電路安裝完畢之后,不要急著通電,應該先再次檢查電路是否安裝正確,查看是否有少安裝或者多安裝的情況。另外,測量一下接觸元器件的連接點,這樣可以發現一些接觸不良的地方,若有漏電情況應該及時對此進行維修。電路在工業中也是起到了很大的作用,在安裝電路的時候,一定要小心謹慎,綜合考慮多方面因素,不要遺漏一些小問題,有時一些小問題也可能出大錯,保證電路的穩定才能更好地協調其他設備的安裝穩定。應認真復查電路,查看電路有無正確安裝,或存在設備多安裝或少安裝的現象,同時應認真檢測每個接觸元器件連接點,明確有無接觸不良或短路現象,若發生漏電務必要及時維修與處理。電路調試的具體流程總結如下:
第一,應認真查看明確電路整體狀況,了解電路面板線有無準確連接,有無看似連接實際并未連接的線,或易短路的線;是否存在兩條或多條線混淆的情況;此后,使用最小量程檔的萬用表對電路面板進行檢查,查看開路處和閉路處有無正確開路與閉路,地線是否漏接,電源連線連接的安全性等,同時需測量電源有無短路現象。測量期間可直接進行元器件連接點測量,如此可明確有無以上情況的同時又弄清楚是否存在接觸點不良現象。第二,電路調試過程的關鍵環節之一即硬件電路調試。調試期間務必要注意細小環節的把控,根據電路功能原理做好各個單元電路的調試,再作整體調試,后進行整個電路的調試。電路在工業生產里發揮的作用是相當大的,電路安裝過程里務必要綜合考量多方因素,認真謹慎,切不可遺漏或放過存在的小問題,確保電路穩定性得到保障。
3結束語
微電子控制機電設備的組成包括變頻調速器、可程序控制器等,由于操作相對簡便、效果好,在工業中發揮了不可忽視的作用。微電子控制機電設備在實踐中不斷完善,將理論與實踐相互結合,明確各個方面的要點,有效提升生產效率,在工業領域發揮出最大化價值,推動社會進步和發展。推動電子設備的可持續發展也是當今社會經濟發展所提出的必然要走的道路,順應經濟發展的趨勢,才能不落后于其他國家的工業化改革。
微電子畢業論文范文模板(二):關于現階段國家示范性微電子學院建設的幾點思考論文
[摘要]文章淺述了國家示范性微電子學院的建設背景及歷程。借鑒示范性軟件學院建設經驗并結合現階段浙江大學示范性微電子學院建設經驗,從學科劃分、考核體系、校企合作、平臺建設和國家支持等方面進行思考和總結,闡述如何圍繞“以人才培養為中心”和“產學協同育人”這兩個核心問題,進行國家示范性微電子學院建設。
[關鍵詞]示范性微電子學院;集成電路;人才培養;產學協同
[中圖分類號]G64[文獻標識碼]A[文章編號]2095-3437(2020)07-0001-04
回顧整個中國特色社會主義建設歷程,作為高等教育中至關重要的一部分,工程教育在國家現代化進程中發揮著不可替代的作用。在國家經濟改革和世界范圍產業變革的過程中,我國的工程教育也在不斷改革創新。從工程教育專業認證制度的建立,到PBL和CDIO理念的引入,實施卓越工程師計劃和建立國家示范性軟件學院、微電子學院,再到加入《華盛頓協議》和新工科的提出,中國的工程教育一直在實踐中發展。在中國工程教育改革中,2001年開始的國家示范性軟件學院建設作為教育改革的“示范區”,發揮著重要的作用。本文在借鑒示范性軟件學院十多年建設經驗的基礎上,結合現階段示范性微電子學院的建設情況,對2015年開始實施的國家示范性微電子學院建設進行思考與總結。
一、示范性微電子學院成立背景
21世紀初,信息化在世界范圍內開始普及,軟件產業在世界社會發展中的地位和重要性開始顯現。軟件產業作為當時的新興產業,呈現出向發展中國家大規模轉移的趨勢,國內外巨大的軟件市場導致對軟件從業人員需求量的劇增。國家從當時國內外行業背景及國家發展戰略出發,于2001年由教育部正式設立國家示范性軟件學院,首批試點35所(后增加至37所),均由國家重點高校負責建設;2004年教育部針對高職類學校又設立了36所高職示范性軟件學院。其后,各省、市結合自身地方產業成立了省級示范性軟件學院50多所,對軟件人才進行儲備。從2001年至今,示范性軟件學院經歷了十多年的建設與發展,在人才培養和產業促進上都取得令人矚目的成就。在此期間,我國的軟件產業獲得了長足的發展,其中尤以華為、阿里巴巴、百度、騰訊等互聯網企業為代表。
經過十多年的積累和追趕后,我國不但解決了軟件產業發展初期規模弱小、產業單一、人才技術短缺等諸多問題,而且在部分領域超過了發達國家,并形成了中國特色的“互聯網+”新型經濟模式。接下來,國家開始效仿軟件產業發展模式,對信息領域更基礎、更關鍵但更薄弱的“卡脖子”短板——集成電路產業發起沖鋒。特別是近年來,在國際貿易保護主義抬頭和美國對華貿易戰的背景下,從晉華、中興到華為、大疆,以集成電路為代表的高科技產業形勢尤為嚴峻,發展變得刻不容緩。
2014年國務院印發《國家集成電路產業發展推進綱要》(以下簡稱《綱要》),指出“集成電路產業是信息技術產業的核心,是支撐經濟社會發展和保障國家安全的戰略性、基礎性和先導性產業”?,F階段我國集成電路產業主要面臨核心技術缺乏、產業鏈不完善、資金投入不足、創新人才短缺4個核心問題。參考軟件產業發展模式,為解決集成電路產業4個核心問題中的人才短缺問題,示范性微電子學院應運而生。
二、示范性微電子學院的成立
《綱要》從組織領導、資金政策、金融稅收、人才保障等8個方面采取了保障措施,指出“加大人才培養和引進力度,建立健全集成電路人才培養體系,支持微電子學科發展,通過高校與集成電路企業聯合培養人才等方式,加快建設和發展示范性微電子學院和微電子職業培訓機構”。這是繼2011年國務院《進一步鼓勵軟件產業和集成電路產業發展若干政策》后,國家再次對高校示范性微電子學院建設提出的明確要求。
2014年教育部《關于試辦示范性微電子學院的預通知》。2015年六部委《關于支持有關高校支持建設示范性微電子學院的通知》(以下簡稱《通知》),明確支持清華、北大、浙江大學等9所高校建設示范性微電子學院,支持北京航空航天大學、南京大學等17所高校籌備建設示范性微電子學院,示范性微電子學院建設序幕自此開啟。
三、示范性微電子學院定位及現狀
《通知》指出:示范性微電子學院的建設要以人才培養為中心,深入開展產學合作協同育人,加快培養集成電路產業急需的工程型人才。可以看出,“以人才培養為中心”和“產學協同育人”是示范性微電子學院建設的兩個核心要求,“工程型”人才是示范性微電子學院培養人才的根本目標。
自2015年第一批示范性微電子學院成立至今,各個示范性微電子學院的建設歷程和辦學模式各不相同,有的是在原有信息學院或微電子學院的基礎上進行建設,有的是新設立微電子學院掛靠其他成熟學院運行,有的是整體新建并單獨運行。由于處于建設初期,不同學校都因地制宜、因時制宜地進行摸索,或大刀闊斧,或小步慢跑。目前,各個學校的微電子學院都在人才培養、師資規模、校企合作等方面都取得了一定的階段性成果。
與此同時,示范性微電子學院在建設的過程中,也都面臨一些共性的難題,如示范性微電子學院與一般學院的定位區別、如何進行“工程型”人才培養、如何擴大招生規模與影響、如何更好地與企業結合,以及如何對示范性微電子學院建設進行評價等,這些都是示范性微電子學院面臨或將要面臨的問題。
四、對示范性微電子學院建設的幾點思考
當然,示范性微電子學院建設也并非無樣板可以參考,2001年開始建設的示范性軟件學院就是很好的借鑒,特別是在辦學模式、人才培養、師資管理等諸多具體、常規問題上。然而,軟件行業和集成電路行業相差較大,而且當今的時代背景和2000年也完全不同,如何圍繞“人才培養為中心”“產學協同育人”這兩個核心來建設微電子學院,需要全體高等教育工作者進行與時俱進地思考和探索。本文從浙江大學(以下簡稱“浙大”)示范性微電子學院建設的實踐出發,分享一些經驗與思考。
(一)學科劃分與評估體系
學科劃分和評價問題是微電子學院建設能否成功的核心問題,關乎微電子學院的建設方向和結果。單獨的學科設置及評估體系,不僅能加強微電子學院的獨立性辦學,也能更有效地促進微電子學院建設的展開。
1.設置微電子一級學科
人才作為第一資源以及集成電路產業的核心,微電子學院成立的根本目的就是為產業培養急需的“工程型”人才。然而受招生名額等條件的限制,現階段我國高校每年培養的集成電路高級專業型人才不足萬人,而且缺口仍在擴大,可見,擴大集成電路招生名額勢在必行。以浙江大學為例,2014年以前學校集成電路每年碩士、博士的招生人數在30人左右,即使示范性微電子學院成立以后,新增了微電子本科專業,微電子學院每年本碩博招生也不足200人,以如此培養速度,根本不足以填補產業人才需求的缺口。由于我國大學招生名額是與學科劃分掛鉤的,這就涉及一級學科設置的問題。
目前,浙大微電子所在的一級學科是電子科學與技術,其下含有電路與系統、微電子學與固體電子學、電磁場與波、物理電子學四個二級學科,其中與微電子學院直接對應的兩個二級學科是:電路與系統、微電子學與固體電子學。研究領域分別對應集成電路的軟件部分和硬件部分,前者主要包括集成電路設計,后者主要涉及集成電路產業中的制造、封裝測試。
此外,微電子一級學科問題,除了與擴大招生名額相關外,也和微電子學院的建設成敗有關,因為這涉及微電子學院與高校原有信息學院的定位問題,以及在學校的學科地位問題。其實在建設示范性軟件學院時,由于學科劃分的問題,就存在著軟件學院與原有傳統計算機學院的“瑜亮之爭”,學科資源配置之爭。最終,2011年教育部將軟件工程提升為一級學科,這才在一定程度上解決了上述問題。從軟件學院的建設經驗來看,將微電子學與固定電子學、電路與系統等二級學科重整、提升為一級學科十分必要,且宜早不宜遲。
2.修訂學科評估體系
微電子學院建設要求以“人才培養為中心”,而傳統學科評估體系以“學科建設為中心”。因為“中心”的不一樣,在進行微電子學院建設時,學校在資源配置時就必須考慮效益比問題。如果微電子學院建設的投入無法對學校的學科發展形成促進作用,甚至因為分流限制了已有學科的建設,學校不僅不會支持微電子學院的建設,甚至可能還會限制其發展。因此,在現有學科評估體系下,示范性微電子學院很難做到完全以“教學”為中心,只能“教學科研”兼顧,最終微電子學院在很大概率上將會和傳統的信息學院同質化。上述情況在軟件學院建設時出現過,且仍未得到有效解決,這也是很多軟件學院選擇異地發展的原因,其目的是避免與本校原有的計算機學院分流資源。
在現有學科評估體系下,即使能做到以“教學”為中心,也很難滿足微電子學院“產學協同”的人才培養要求。因為現有學科評估體系偏向于理科化,重理論而輕實踐,無論是“教學”還是“科研”,學生注重“卷面”,教師注重“文章”。而微電子學院的建立要求緊貼產業,注重實踐,產學協同,因此培養“工程型”人才在現有體系下很難做到。
其實,2016年教育部提出新工科建設,其本質也是針對現有“理科化”學科評估體系與工科建設要求不相匹配的問題??梢源竽懺O想對現有學科評估體系進行必要的改革,如對基礎性學科依舊使用現有“理科性”評估體系;對應用性學科,如新工科,則在原有的體系上建立新的“工科性”評估體系。這樣或許能從根本上改變我國“寫論文的太多,做應用的太少”、應用研究和理論研究比例失衡的現狀。為體現示范性,上述設想甚至可以率先在示范性微電子學院進行試點,實踐可行后再逐步推廣到新工科乃至其他工程性學科。
(二)師生考核體系
示范性微電子學院要求“堅持人才培養為中心”,在國家層面需要解決的是學科問題,具體到學校和學院操作時,就要考慮內部的考核與評價問題,其中主要涉及兩個方面,一是教師的考核,二是學生的考核。
1.教師考核體系
以人才培養為中心,要求教師的工作重心應該是教學,因此微電子學院教師在考核上應該與傳統學院有明顯區別,比如加大教學在考核中的比重。微電子學院培養的人才要強調工程性,所以在教學考核中,要突出工程實踐的教學內容。另外,在引進師資時,可以效仿軟件學院偏向引進有企業經驗或者工程項目經驗的教師,形成本校專職教師、企業兼職教師、適當比例外教的格局,這一點浙江大學微電子學院在人才引進時就尤為注重教師的行業或工程背景。
為了保證公平性,調動教師的積極性,可以實行聘崗制和聘期制,不同崗位考核不一樣、聘期不一樣,如在浙江大學,對不同類別的教師設置有:教學科研并重崗、工程教育創新崗、社會服務與技術推廣崗等,其中工程教育創新崗就是浙江大學針對工程教育改革新設置的崗位。
2.學生考核體系
微電子學院要培養“工程型”人才,因此針對學生的培養過程、考核過程、評價過程要緊緊圍繞“工程”來設置。微電子學院學生與傳統學生培養最本質的區別是“工程實踐”能力。在此之前,要提前區別一下其與動手能力的差別。“工程實踐”能力與傳統工科學生在實驗室環境下的動手能力不同,是要在工業生產的背景下,通過“做中學”和“基于項目學習”,進而培養學生的“工程師式思維和行為”。這要求學校必須為學生提供企業的工程環境而非簡單的高校實驗室環境,兩者有著本質的區別。
正是因為微電子學院培養的人才需要工業生產背景,這就要求企業參與培養,這從源頭上保證了學生培養會緊貼產業。通過設置新的學生評價體系來保證和監督學生“工程實踐”能力的獲得,這一點至關重要。也只有這樣,學生畢業后進入企業才能立即上手,無須企業的再熏陶和培訓。
浙江大學微電子學院對于學生“工程實踐”能力的培養是根據學生的不同階段分步進行的。首先,針對低年級的本科生,加大培養方案中實驗課程的比例和學分,以此來培養學生的“動手操作”能力。其次,對于高年級的本科生,則是通過到企業實習、參與導師企業課題(學業導師制)、科創實驗(SRTP)、參加創新創業競賽等來初步熏陶學生的“工程實踐”能力。最后,到研究生階段,通過企業、導師聯合制定課題,學生選題并到企業培養或參與企業橫向課題等方法來完成“工程能力”的塑造。
(三)校企合作
校企合作是微電子學院建設的重點也是難點之一。傳統高校教學以學校為主,這在一定程度上導致了高校研究與產業發展脫節、高校培養的學生與企業需求脫節。高等工程教育改革的目的之一就是如何將高校與企業聯系緊密,互相促進,“如何引入企業參與到高校的人才培養”,從而達到“產學協同”。
校企合作的目的是互利共贏。中國高校以育人為宗旨,具有一定的公益性,而企業以利益為根本,公益性只是其附帶屬性,只投入不計回報的企業少之又少。如何讓兩個不同的主體做到有機結合,使得“企業愿意參與,高校愿意放開”是困難所在。從需求來看,高校育人,企業用人,高校和企業合作的紐帶在人——學生,解決好“如何以學生為紐帶將企業和高校緊密聯系在一起”是校企合作的關鍵所在。
從軟件學院的經驗看,多是通過校企理事會、共建實驗室和實踐基地、共建師資隊伍、共設課程等方式來開展校企合作。無論是以何種合作方式,想要長久有效就必須做到互惠互利,純粹的一方投入不可持續。從浙江大學專業學位研究生的培養經驗來看,比較有效的手段之一是:通過導師與企業的橫向合作為依托,以項目的形式將學生的培養參與其中。這是一種“基于項目的培養模式”,企業提出技術需求和課題資金,學校再給予學生名額、教學工作量等支持。通過一個個的具體項目,將學校、學生、企業串聯起來,形成規模效應后再以創建聯合實驗室、研發中心、實踐基地等方式進行深化。浙江大學成立工程師學院就是希望從學校層面來推進和引導校企合作。此外,不同地區的微電子學院在專業設置上也應針對當地企業需求開設專業,面向企業培養人,甚至可以對重點企業進行定向培養,吸引企業深度參與學院建設。
校企合作不僅僅是學校和企業的問題,政府的作用也尤為重要,因為政府掌握著核心的生產資料和分配政策。比如政府在審批、稅收減免、經濟補助、教育資金、就業引導等各方面都能非常有效調動企業和高校的積極性,促進雙方的結合。日本20世紀70年代半導體產業的興起,就是通過高校(實驗室)、企業、政府三方的共同發力,成立“VLSI技術研究組合”,從而打破美國的壟斷。20世紀80年代韓國三星的崛起也與韓國政府的大力扶持密不可分,所以在這一點上值得我們國家借鑒和學習。
(四)硬件建設及平臺共享
集成電路產業人才培養對硬件設施要求極高,這是其與軟件產業最大的不同之一。如小型工藝操作、流片、實訓等都需要高昂硬件和財力的支撐,因此微電子學院建設要格外重視大型共享平臺建設,并以共享平臺建設為契機將校企合作、校地合作、學生實踐培養進行有機連接。然而一般平臺投資都十分巨大,很難靠一己之力來進行建設,如浙江大學微納加工中心一期投入6000萬、工程師學院微電子實訓平臺投入近3500萬,紹興微電子研究中心投資近1億。微電子學院建設更應注重開放式辦學,嘗試通過國家出資、政府出地、企業出技術、學校出人等多重模式,把握本地發展機遇以產業園、孵化器、共享平臺的形式來共贏發展。
(五)國家和學校支持
從軟件學院的建設經驗來看,建設成功與否與國家和學校的支持息息相關。因為軟件學院建設經費自籌,所以從建立之初,就面臨著資金的壓力。從十多年后的評估結果來看,發展得好的軟件學院與學校的長期支持密不可分;純粹依靠企業、學費等來進行市場化運作則很難實現。以浙江大學軟件學院為例,軟件學院之所以能在寧波辦學,首先與寧波市政府給予啟動資金、場地、師資、經費等全面的支持分不開,此外,與浙大持續的師資、運營等投入也密不可分,可以說寧波市政府和浙大的支持二者缺一,浙大軟件學院就不會有今天的規模。從產業性質來看,因為集成電路行業對硬件的要求要比軟件行業高很多,這就決定了微電子學院的硬件投入要比軟件學院投入要大得多,所以微電子學院勢必更需要從國家、從學校爭取更多可持續的資金,如專項經費、低息貸款等,這樣才有可能實現跨越式的發展。
微電子學論文范文2
關鍵詞:特色專業建設;復旦大學;微電子學;創新人才培養
復旦大學“微電子學與固體電子學”學科有半個多世紀的深厚積累。20世紀50年代,謝希德教授領導組建了全國第一個半導體學科,培養了我國首批微電子行業的中堅力量。60年代研制成功我國第一個鍺集成電路。1984年,經國務院批準設立微電子與固體電子學學科博士點,1988年、2001年、2006年被評為國家重點學科。所在一級學科于1998年獲首批一級博士學位授予權,設有獨立設置的博士后流動站和長江特聘教授崗位,建有“專用集成電路與系統”國家重點實驗室,1998年和2003年被列入“211”工程建設學科,2000年被定為“復旦三年行動計劃”重中之重學科得到學校重點支持,2005年獲“985工程”二期支持,建設“微納電子科技創新平臺”。
長期以來復旦大學微電子學教學形成了“基礎與專業結合,研究與應用并重,創新人才培養國際化”特色。近年來,在教育部第二批高等學校特色專業建設中,我們根據國家和工業界對集成電路人才的要求,貫徹“國際接軌、應用牽引、注重質量”的教學理念,制定了復旦大學“微電子教學工作三年計劃大綱”并加以實施,在高端創新人才培養方面對專業教學的特色開展了深層的挖掘和拓展。
一、課程體系的完善和課程建設
微電子技術的高速發展要求微電子專業課程體系在相對固定的框架下不斷加以更新和完善。
我們設計了“復旦大學微電子學專業本科課程設置調查表”,根據對于目前工作在企業、大學和研究機構的專業人士的調查結果,制定了新的微電子學本科培養方案。主要修改包括:
(1)加強物理基礎、電路理論和通信系統課程。微電子學科,特別是系統芯片集成技術,是融合物理、數學、電路理論和信息系統的綜合性應用學科。因此,在原有課程基礎上,增加了有關近代物理、信號與通信系統、數字信號處理等課程,使微電子學生的知識覆蓋面更寬。
(2)面向研究、應用和學科交叉的需要,增加專業選修課程。如增加了電子材料薄膜測試表征方法、射頻微電子學、鐵電材料與器件、Perl語言、計算微電子學、實驗設計及數據分析等課程,為本科生將來進一步從事研究和應用開發打下基礎。
(3)強調能力和素質訓練,高度重視實驗教學。開設了集成電路工藝實驗、集成電路器件測試實驗、集成電路可測性設計分析實驗及專用集成電路設計實驗等從專業基礎到專業的多門實驗課。
在課程體系調整完善的同時,還對于微電子專業基礎課和專業必修課開展了新一輪的課程建設。包括:
(1)精品課程的建設。幾年來,半導體物理、集成電路工藝原理、數字集成電路設計經過建設已經獲得復旦大學校級精品課程。其中半導體物理和集成電路工藝原理課程獲得學校的重點資助,正在建設上海市精品課程。另有半導體器件原理和模擬集成電路設計正在復旦大學校級精品課程建設之中,有望明年獲得稱號。
(2)增加全英語教學和雙語教學課程。為了滿足微電子技術的高速發展和學生盡快吸收、學習最新知識的需求,貫徹落實教育部“為適應經濟全球化和科技革命的挑戰,本科教育要創造條件使用英語等外語進行公共課和專業課教學”的要求,在本科生專業課的教學中新增全英語教學課程3門,雙語教學課程4門。該類專業課程的開設也為微電子專業的國際交流學生提供了選課機會。
(3)教材建設。為了配合課程體系的完善和補充更新專業知識,除了選用一些國際頂級高校的教材之外,還依據我們的課程體系組織編寫了一系列專業教材和論著。有已經出版的《深亞微米FPGA結構與CAD設計》、《Modern Thermodynamics》、《現代熱力學-基于擴展卡諾定理》,列入出版計劃的《半導體器件原理》、《超大規模集成電路工藝技術》和《計算機軟件技術基礎》。另外根據課程體系的要求對實驗用書也進行了更新。
為了傳承復旦微電子學的豐富教學經驗和保證教學質量,建立了完備的教學輔導制度,如課前試講、課中聽課及聘請經驗豐富的退休老教師與青年教師結對子輔導等。每學期聽課總量和被聽課教師分別均超過所授課程和任課教師人數的50%以上。對所有聽課結果進行了數據分析,并反饋給任課教師,為教師改進教學提供了有益的幫助。在保證教學內容的情況下,鼓勵教師嘗試新的教學手段,實現所有必修課程的電子化,建立主要必修課程的網頁,完全公開提供所有課件信息,部分課件獲得超過15000次的下載量。青年教師還獨創了“移動課堂”的授課新方法,該方法能夠完整復制課堂教學,既能高清晰展示教學課件的內容,又能把教師課上講解的聲音、動作及臨時板書全部包含在內,能夠使用大眾化的多媒體終端進行播放,隨時隨地完美重現課堂講解全過程。
通過國際合作的研究生項目及教師出國交流,復旦大學微電子學專業教師的教學水平得到進一步提升。在研究生的聯合培養項目(如復旦-TU Delft碩士生項目、復旦-KTH碩士生/博士生項目等)中海外高校教師來到復旦全程教授所有課程,復旦配備青年教師跟班聽課和擔任課程輔導。這使得青年教師的授課理念、授課方式及授課水平都有大幅提高。同時,由于聯合培養項目及其他合作項目,復旦的青年教師也被邀請參與海外高校的教學,擔任對方課程的主講,青年教師利用交流的機會,引進海外高校的一些課程用于補充復旦微電子的培養方案。這些都為集成電路專業特色的挖掘和拓展起到重要的作用。
經過幾年的努力,微電子專業的教學水平普遍得到提升,在教學評估中得到各個方面的好評。
二、培養方法的改進和創新
培養適應時代要求的微電子專業創新人才也需要在培養方法上加以改進和創新。
針對微電子工程的特點,在堅持扎實的理論的基礎上,強調理論聯系實際,開展實踐能力訓練。在學校的支持下,教學實驗室環境得到及時更新,幾個方面的實驗教學在國內形成特色。
(1)本科的集成電路工藝實驗可以在學校自己的工藝線上完成芯片的清洗、氧化、擴散、光刻、蒸發、腐蝕等基本工藝制作步驟,為學生完整掌握集成電路制造的基本能力提供了很好的實際訓練。
(2)在集成電路測試方面,結合自動化測試機臺(安捷倫SoC93000ATE),開設了可測性設計課程,附帶實驗。
(3)集成電路設計課程都附帶課程項目實踐,培養了學生實際設計能力和素質,取得很好效果。
通過課程教學訓練學生創新思維和分析問題的能力。嘗試開設了部分本科生和研究生同時共同選修的研討型課程。在課程學習的過程中,本科生不僅可以得到研究生的指導,在課堂上就某些課程內容進行探究,還可以在開展課程設計時在小組內和研究生同學共同開展小型項目研究,對于提高本科生進一步學習微電子專業的興趣和培養他們發現問題解決問題的能力有很大的幫助。
參加科研無疑是培養學生創新能力的一個最為有效的途徑。配合復旦大學的要求,微電子學專業在本科階段,持續設置多種科研計劃,給予本科生進實驗室開展科研以支持。
(1)大一的“啟航”學術體驗計劃。計劃鼓勵大一學生在感興趣的領域進行探究式學習和實踐,為學生打造一個培養創新意識,鍛煉學術能力的資源平臺。“啟航”學術體驗計劃的所有學術實踐項目均來自各個微電子專業的導師,學生通過對感興趣的項目進行申報與自薦的形式申請加入各學術實踐小組。引導學生領略學科前沿,體驗研究樂趣。
(2)二、三年級曦源項目。項目建立在學生自主學習和創新思想的基礎上,鼓勵志同道合的同學組成研究團隊,獨立提出研究方向,尋找合適的指導教師。加入自己感興趣的研究方向的團隊。在開放課題列表中尋找合適的課題方向,并向該課題指導教師進行申請。還有更多的學生在大三甚至更早就進入各個研究小組,參與教授領導的各類國家級、省部級項目及來自企業、海外等的合作項目的研究。在完成的計劃和項目成果之外,學生們還在收集文獻資料、獲取信息的能力,發現問題、獨立思考的能力,運用理論知識解決實際問題的能力,設計和推導論證、分析與綜合的能力,科學實驗、發明創造的能力,寫作和表說的能力等方面,都有不同的收獲。
通過學生參加國際交流活動及外籍教師講授課程給學生提供國際化的培養,提供層次更高、路徑多元的培養方案,培養了學生的國際化眼光,開拓了學生的培養渠道。
幾年來,微電子學專業學生的出國交流人數逐年增長,從2008年起,共有20位本科生赴國外多個高校交流學習。交流的項目包括雙學位、長學期和暑期項目等,交流時間從3個月到2年不等,交流學校包括美國(耶魯、UCLA等)、歐洲(伯明翰、赫爾辛基等)、日本(早稻田、慶應等)及我國港臺高校。大多數同學在交流期間的學習成績達到交流學校的優秀等級,同時積極參加交流學校教授小組的科研工作,得到了很好的評價。個別同學由于表現優異在交流結束回國后被對方教授邀請再次前去完成畢業論文;也有同學交流期間)參加國際級大師的科研小組工作,獲益匪淺,直研后表現出強于一般研究生的科研能力??梢钥吹剑瑖H交流不僅為同學們提供了專業知識和研究能力的不同培養模式,也為他們提供了更加廣闊的視野和體驗多種文化的機會,為他們今后的發展和進步打下了很好的基礎。自特色專業建設以來,每學期均新開設“前沿講座”課程,課程內容不固定,授課人為聘請的海外教師,有的來自海外高校,有的來自海外企業,課程均為全英語課程或雙語教學課程。這類課程直接引進了海外高校的課程和教學方式,不僅學生受益,同時也培養了復旦微電子專業的青年教師。企業還提供與課程內容直接相關的軟件,在改善教學環境的同時,還為學生參加科研提供了培訓。
經過2年多特色專業項目的建設,復旦微電子學專業在鞏固已有教學特色基礎上,在高端創新人才培養方面進行了深層的挖掘和拓展,取得了一系列的成果。
微電子學論文范文3
關鍵詞 半導體物理學 課程探索
中圖分類號:G642.421 文獻標識碼:A 文章編號:1002-7661(2016)02-0001-01
信息技術的基礎是微電子技術,隨著半導體和集成電路的迅猛發展,微電子技術已經滲透到電子信息學科的各個領域,電子、通信、控制等諸多學科都融合了微電子科學的基礎知識?!栋雽w物理學》是微電子技術的理論基礎,是電子科學與技術、微電子學等專業重要的專業基礎課,其教學質量直接關系到后續課程的學習效果以及學生未來的就業和發展。但是,《半導體物理學》具有理論性強、教學模式單一、教學內容更新慢等特點,使得學生在學習過程中存在一定的難度。因此,本文從課堂教學實踐出發,針對目前教學過程中存在的問題與不足,對微電子專業的《半導體物理學》課程進行探索。
一、教學內容的設置
重慶郵電大學采用的教材為電子工業出版社劉恩科主編的《半導體物理學》,該教材具有知識體系完善、涉及知識點多、理論推導復雜、學科交叉性強等特點,需要學生有扎實的固體物理、量子力學、統計物理以及數學物理方法等多門前置學科的基礎知識。另外,我們開設的學生對象為微電子相近專業的學生,因而在課程內容設置時有必要考慮學生知識水平及其知識結構等問題。雖然微電子學相近專業開設了大學物理等課程,但是大部分專業未開設量子力學、固體物理及熱力學統計物理等前置課程,學生缺少相應的背景知識。因此,我們在《半導體物理學》課程內容設置上,需要將部分量子力學、固體物理學及統計物理學等相關知識融合貫穿在教學中,避免學生在認識上產生跳躍。
從內容上,依據課程大綱《半導體物理學》主要分為兩大部分,前半部分著重介紹半導體的電子狀態及對應的能帶結構,電子有效質量、雜質和缺陷能級、載流子的統計分布,半導體的導電性與非平衡載流子,在此基礎上進一步闡述了費米能級、遷移率、非平衡載流子壽命等基本概念;后半部分對典型的半導體元器件及其性能進行了深入分析?;谝陨戏治?,半導體物理課程對授課教師要求較高,需要教師采用多樣化的教學手段,優化整合教學內容,注重理論推導與結論同相關電子元器件的實際相結合,使學生較好地理解并掌握相關知識。
二、教學方法與教學手段
為了讓學生能較好地掌握《半導體物理學》中涉及的理論及模型,需要采用多樣化的教學方法和手段?;凇栋雽w物理學》課程的特點,在傳統黑板板書基礎上,充分利用PPT、Flash等多媒體軟件,實物模型等多種信息化教學手段,模擬微觀過程,使教學信息具體化,邏輯思維形象化,增強教學的直觀性和主動性,從而達到提高課堂教學質量的目的。
三、考核方式的改革
為了客觀地評價教學效果和教學質量,改革考核方式是十分必要的。針對《半導體物理學》課程特點,對考核方式作如下嘗試:(1)在授課過程中,針對課程的某些重點知識點,設計幾個小題目,進行課堂討論,從而增強學生上課積極性及獨立思考能力;(2)學期末提交針對課程總結的課程論文,使學生在對課程有更深入了解的同時激發學生的創造積極性。
《半導體物理學》是微電子技術專業重要的專業基礎課,為后續專業課程的學習打下理論基礎。要實現《半導體物理學》這門課的全面深入的改革,還有待與同仁一道共同努力。
參考文獻:
[1]湯乃云.微電子專業“半導體物理”教學改革的探索[J].中國電力教育,2012,(13).
微電子學論文范文4
Eby G. Friedman University of Rochester USA.
Power distribution networks
in high speed integrated
circuits
2004,277pp.
Hardcover USD 79.00
ISBN 9781402075346
Kluwer Academic Publishers
高速集成電路中的
功率分配網絡
AV梅齊巴EG弗里德曼
自從20世紀60年代初單片集成電路發明以來,半導體電子工業經歷了爆炸式增長。在過去的幾十年中,技術定標是改進集成電路性能的主要驅動力,在這種驅動力作用下集成電路的速度與集成密度有了顯著的改進,這些性能的改進使得對單片線路的功率分配成了一個困難的任務。以高時鐘速度運行的高密度電路把分配電流增加到了幾十安培,而電源的噪聲容限的縮減是與電源電位的減少保持一致的。這些傾向把功率分配問題直接推到了開發高性能集成電路中挑戰的最前沿。
本書的主要目的是為高速的、高度復雜的集成電路功率分布系統的功能及設計提供理論和實踐基礎。為達到這個目的,本書做了兩個方面努力,第一描述整個功率分配系統的阻抗特性,從穩壓器到印刷電路板,從包裝的集成電路到單片電路的功率端;第二討論單片功率分配網的電感特性及這些結構在相關電路中的性能。這本專題論文是以本書的第一作者從1998至2003年美國羅切斯特大學做博士論文時所進行的一系列研究為基礎的,而這些研究工作是在本書第二作者的指導下進行的。
本書共分兩部分,第一部分第1~8章,提供了對集成電路中功率分配的一般描述,介紹了功率分配面臨的挑戰,描述了設計功率配系統的原理,考察了去耦電容器體系。第1章緒論;第2章電子電路的電感性;第3章單片電感電流回路的性質;第4章電遷徙;第5章高性能功率分配系統;第6章單片功率分布網絡;第7章計算機輔助設計與分析;第8章單片功率分布網的電感特性。第二部分為第9~14章,專注于單片功率分配網絡的阻抗特性,研究了單片功率分配網絡阻抗特性中的互連電感效應。討論了這些阻抗特性與電路行為的關系,描述了用于功率分配網絡的計算機輔助設計與分析的技術及算法。第9章網電感的變化與頻率;第10章電感/面積/電阻之間的折中;第11章單片功率分配噪聲的定標趨勢;第12章多層網的阻抗特性;13章單片功率分配網絡中的電感效應;第14章結論。
本書可供微電子學專業的研究人員、工程師及研究生閱讀參考。
胡光華,高級軟件工程師
(原中國科學院物理學研究所)
微電子學論文范文5
關鍵詞:專業建設;學科建設;教學團隊
中圖分類號:G642.0 文獻標志碼:A 文章編號:1674-9324(2015)48-0119-02
近年來,隨著國家產業結構的不斷調整和新常態的出現,根據國家經濟社會發展的需要,為了適應新常態下的人才需求,許多高校有針對性地開設新專業,調整學科專業結構,為國家建設發展提供了智力支持和人才保障。新增設專業的建設,為高等院校的發展注入了新鮮血液,也為其自身的生存與發展起到了重要的作用,同時,也帶來了新的問題與挑戰。如何培養具有專業綜合競爭力的高素質人才,力求在滿足社會需要的前提下盡力提高人才培養的質量,保證學生能就業、易就業、就好業,是新增設專業的主任、學校各有關部門和輔導員必須面臨的問題。西安工程大學微電子科學與工程專業在新增專業學科建設的實踐過程中,進行了有益的探索。
一、西安工程大學微電子科學與工程專業的基本情況
我校微電子科學與工程專業是在應用物理學專業微電子方向的基礎上,于2009年提出申請,同年9月經陜西省教育廳批準,于2010年增設的,專業代碼為080704,屬于工學大類,電子信息類。學制四年,授予理學學士學位。本專業培養具備微電子科學與工程專業扎實的自然科學基礎、系統的專業知識和較強的實驗技能與工程實踐能力,能在微電子科學技術領域從事研究、開發、制造和管理等方面工作的專門人才。
二、微電子科學與工程的專業特征
通過實驗、技能訓練和到實習基地頂崗實習,本專業畢業生應具備以下能力:(1)掌握數學、物理等方面的基本理論和基本知識;(2)掌握固體電子學、微電子器件和集成電路設計與制造等方面的基本理論和基本知識,掌握集成電路和其他半導體器件的分析與設計方法,具有獨立進行版圖設計、器件性能分析的基本能力;(3)了解相近專業的一般原理和知識;(4)熟悉國家電子產業政策、國內外有關的知識產權及其他法律法規;(5)了解VLSI和其他新型半導體器件的理論前沿、應用前景和最新發展動態,以及微電子產業發展狀況;(6)掌握資料查詢、文獻檢索及運用現代信息技術獲取相關信息的基本方法;具有一定的實驗設計,創造實驗條件,歸納、整理、分析實驗結果,撰寫論文,參與學術交流的能力。
微電子科學與工程專業具備以下特征:兼容性:本專業是理工兼容的專業,融合了物理學、化學、電子學、材料科學、計算機科學、集成電路設計制造學等多個學科的基本知識、基礎理論;交叉性:微電子科學與工程專業是超凈、超純、超精細加工等多種技術交叉的基礎上發展起來的學科;基礎性:微電子科學與工程專業是電子科學技術、信息科學技術、計算機科學技術的先導和基礎,是發展現代高新技術和國民經濟現代化的重要基礎。
三、學科建設的實踐與探索
學科建設是一個長期積累、不斷提高的過程,重在建設和積累。我們在建設過程中以教學團隊為抓手,以課程群為載體,以課堂教學為主渠道,以深化改革為手段,以培養學生實踐創新能力、持續提高教學質量為目標。將教學團隊建設、課程群建設和教學改革緊密結合,作為系統工程整體推進,實現成效的最大化。
教學團隊建設、師資隊伍建設和青年教師培養相結合。教學團隊從師資隊伍中產生,不能孤立于師資隊伍建設之外,師資隊伍建設需要高水平教學團隊的帶領和引導,需要傳幫帶。為了使教學團隊具備堅實的基礎,同時發揮其輻射引領作用,必須提高教師的整體教學水平和大面積教學質量,必須大力狠抓師資隊伍建設,對于開辦時間不長的新專業而言,更要特別注重新進青年教師的培養。
首先,理念引導,認識到位。我們始終堅持教學是人才培養的第一要務的宗旨,確立了教學的重要地位,為了把教學這個良心活做好,我們在教學活動中一再強調換位思考,希望任課教師要像當年要求自己的教師那樣要求自己,以對學生、學校、家長、專業、社會高度負責的態度講好每一節課。教師們教學態度端正、認識到位,責任心強,這是搞好教學工作的前提。其次,建立長效機制。通過建立一系列行之有效的規章制度、運行機制和政策措施,如青年教師培訓培養機制、教學信息交流反饋機制、資源經驗共享互用機制,通過互相聽課、針對性聽課、隨機聽課、學生評教等渠道了解、檢查教師的教學情況,做到有問題及時反饋、溝通并督促限期整改。
針對新近開辦專業青年教師多的現狀,我們著力培養青年教師的教學基本功,定期、不定期召開青年教師座談會,交流治學、教學、科研經驗,要求他們跟班聽課并要聽不同教師的講課,博采眾長。同時,要求青年教師根據工作需要,結合個人特長選定主講課程(至少兩門),扎實練就教學基本功。鼓勵和支持年輕教師到國內外進修學習,加速他們的成長。
1.課程群建設、教學團隊建設與課堂教學相結合。教學團隊不能脫離課程而單獨存在,課程群需要高水平的教學團隊去建設。目前課堂教學仍是本科教學的主渠道,因此必須將課程群建設、教學團隊建設融入課堂教學,才能把建設落到實處,并在具體的課堂教學中體現建設效果。微電子教學團隊和課程組認真研究了半導體物理、半導體器件、集成電路設計原理等這幾門課程之間的區別、聯系、共性和互補性,對傳統的教學內容進行了整合、改革,以促進各課程之間的相互滲透、優勢互補和資源共享,更好地處理理論教學、實驗教學和實際應用之間的關系。把教學團隊和課程群建設的成果有效地落實到課堂教學中,接受課堂和學生的檢驗,并做到互相促進,增強了整體效果。
2.課程建設與科學研究、教學研究、教學改革相結合。只有深入開展教學研究,才能有效地推進教學改革和課程建設。我們對教學研究常抓不懈,常研常新,從教學內容、教學方法、教學手段和方案實施等方面全方位抓起,不斷深化教學研究和教學改革。對于課程內容的研究與改革,從宏觀上把握課程的科學體系和各部分之間的關系、理清主線、抓住要點;從微觀上對教材的具體內容進行深入研究,如MOS場效應管與現行手機屏之間的關系,由于和實際生活非常近,非常受學生的歡迎。教學方式與手段的研究與改革方面,可以閱讀科學史和科學家傳記,從中受到啟發,如楊振寧的老師泰勒水平很高,但往往無暇備課,上課時總是現想現推,有時就會陷入困境或誤入歧途,恰恰是在他擺脫困境和糾錯的探索中,讓細心的學生有機會親眼看到老師的思維過程和分析、解決問題的方法。這是鮮活的問題解決式教學,泰勒是無意的,有經驗的教師難道不可以有意而為嗎?教學的關鍵和難處在于揭示前人的發現過程和思想脈絡,這就需要任課教師了解相關的歷史和教育學原理,在發揮教師主導作用的同時,通過提問、專題討論等方式活躍課堂氣氛,促使學生積極思考,讓其從知識的被動接受者轉變為主動參與者和糾結探索者,發揮學生的主體作用。進而微電子科學與工程專業的教師把自己現有的縱橫向科研課題帶入課堂教學中去,讓學生感受科學研究的氛圍,并通過專業課程的熏陶培養學生的科學美感。
3.理論教學、模擬實驗、實驗教學與生產實踐相結合。實踐性教學環節包括:認識實踐、畢業實踐和畢業設計等幾方面。加強實踐教學環節,突出微電子學應用型人才培養特色。提高校內實驗實踐基地建設的規模與水平;加強與校外教學實踐基地合作,提升校外合作教育基地的層次和聯系緊密度,實行“雙師型”教學模式,加強實踐教學環節,提高學生的實踐能力。形成先進的實踐教學理念,堅持不斷的實訓,構建以學生為主體的實踐教學模式,以取代傳統的教師主體式的模式,構建主動適應社會發展所需人才的培養體系。加大力度組織學生參加各類科技競賽,力求每年參與創新創業實踐和學科競賽活動的學生比例逐年遞增的趨勢。生產實踐是學生學以致用、鍛煉能力、增強創新的重要活動,通過不斷加強實驗性、實踐性、應用性、創新性教育環節,使學生自己體驗學、用微電子的樂趣,有效地提高了學生的實踐能力和創新意識。
四、結語
在學科建設中多位一體,統籌統建,將課程群、教學團隊、課堂教學、實驗教學、實踐教學、創新教育、青年教師培養等有機融合、統籌統建,視為一個系統工程整體推進,最大限度地發揮其綜合效益。經過6年的建設與實踐,教學團隊建設不斷加強。2014年8月我校微電子教學團隊獲得省級教學團隊稱號,青年教師培養富有成效,取得了較為滿意的成績,也得到了兄弟院校和同行的好評。
參考文獻:
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微電子學論文范文6
1CDIO工程教育理念
CDIO工程教育模式,是由美國麻省理工學院、瑞典皇家工學院等四所大學共同創立的工程教育改革模式。是近年來國際工程教育改革的最新成果,CDIO是構思(Conceive)、設計(Design)、實施(Implement)、運作(Operate)4個英文單詞的縮寫,以產品從研發到運行的生命周期為載體讓學生以主動的、實踐的、與課程之間有機聯系的方式學習掌握知識&-4。迄今已有幾十所世界著名大學加入了CDIO國際組織,這些學校采用CDIO工程教育理念和教學大綱開展教學實踐,取得了良好的效果。
2存在的問題與課程建設思想
微電子技術研究的中心問題是集成電路的設計與制造,將數以億計的晶體管集成在一個芯片上。微電子技術是信息技術的基礎和支柱,是21世紀發展最活躍和技術增長最快的高新科技,其產業已超過汽車工業,成為全球第一大產業。微電子工藝課程主要介紹微電子器件和集成電路制造的工藝流程,平面工藝中各種工藝技術的基本原理、方法和主要特點。其課程建設思想是使學生對半導體器件和半導體集成電路制造工藝及原理有一個較為完整和系統的概念,掌握當前微電子芯片制作的工藝流程、主要設備、檢測方法及其發展趨勢^7]。
但目前該課程教學中存在較多問題,教學效果不佳,主要有如下幾點:(1)教材陳舊,沒有較適合的雙語教材,難以適應跨國際的微電子制造工藝新技術的快速發展;(2)教學內容信息量大,在教學時間短、內容多的情況下,教師難以合理安排教學進度;(3)在課程設置上重理論輕實踐,技術性和實踐性的內容較少,與迅速發展的工業實際脫節;(4)教學方法單一,理論聯系實際不緊密,不利于學生課堂積極性的提高與創造性的發揮“5)實踐教學環境較差,由于微電子工藝設備十分昂貴,有待加強高校精密貴重儀器設備和優質實驗教學資源共享平臺和運行機制的建設;(6)教評形式單一,忽略了實踐教學與考核,致使大多數學生只是死記硬背書本知識的學習方式來應付考試。
3微電子工藝的課程建設
3.1教材選取及教學內容改革
本課程教材選用經歷了《芯片制造一半導體工藝制程實用教程》、《現代集成電路制造工藝原理》到目前的首選教材:國外電子與通信教材系列中,美國MichaelQiurk和JulianSerda著《半導體制造技術》韓鄭生的中文翻譯本。該書不僅詳細介紹芯片制造中的每一關鍵工藝,而且介紹了支持這些工藝的設備以及每一道工藝的質量檢測和故障排除;并吸收了當今最新技術資料,如用于亞0.25pm工藝的最新技術:化學機械拋光、淺槽隔離以及雙大馬士革等工藝;內容豐富、全面、深入淺出、直觀形象、思考習題量大,并附有大量的結構示意圖、設備圖和SEM圖片,學生很容易理解,最主要的相對前兩本教材,它更加突出實際工藝,弱化了較抽象的原理。
教學內容上采取調整部分章節,突出教學重點,并適當增減部分教學內容。本課程的目的是使學生掌握半導體芯片制造的工藝和基本原理,并具有一定的工藝設計和分析能力,課程僅32學時,而教材分20章,600頁,所以教師需要精選課堂授課內容。從襯底制備、薄膜淀積、摻雜技術到圖形加工光刻技術以及布線與組裝,所涉及的概念比較多,要突出重點:薄膜淀積(氧化、蒸發、濺射、MOCVD和外延等),光刻與刻蝕技術、摻雜技術,需章節調整系統整合;對非關鍵工藝的5~8章(介紹半導體制造中的化學藥品、污染及缺陷等內容)只作為學生課后自學閱讀。第2章的半導體材料特性已在“固體物理”課程中詳細介紹,第3章的器件技術已在‘‘半導體物理“晶體管原理”課程中介紹,第20章裝配與封裝會在“集成電路封裝與測試”課程中介紹,故無需重復講解。將第9章集成電路制造工藝概況放在后面串通整過工藝講解,即通過聯系單項工藝流程,具體分析講解典型的CMOS芯片制造工藝流程,如由n-MOS和p-MOS兩個晶體管構成的CMOS反相器,這樣能夠加深對離子注入、化學氣相淀積、光刻關鍵技術、集成電路的隔離技術以及VLSI的接觸與互連技術等內容的理解。
另一方面,指導學生查閱相關資料,對教材內容作必要的補充,微電子工藝技術的發展迅速,因此需要隨時跟蹤微電子工藝的發展動態、技術前沿以及遇到的挑戰。特征尺寸為45nm的集成電路已批量生產,高K介質/金屬柵層疊結構、應變硅技術已采用。而現有的集成電路工藝教材很少能涉及到這些新技術,為了防止知識陳舊,應多關注集成電路工藝的最新進展,尤其是已經投入批量生產的工藝技術,及時將目前主流的工藝技術融入課程教學中。
3.2教學方法的改革
(1)開發多媒體工藝教學軟件,利用多媒體技術,將動畫、聲音、圖形、圖像、文字、視頻等進行合理的處理,利用大量二維和三維的多媒體圖片、視頻來展示和講解復雜的工藝構造過程。開發圖文聲像并茂的微電子工藝多媒體計算機輔助教學軟件,給學生以直觀、清楚的認識,有助于提高教學質量。
(2)微電子工藝綜合共享實驗平臺建設,集成電路的制造設備價格昂貴,環境條件要求苛刻,運轉與維護費用很大,國內僅部分高校擁有集成電路工藝試驗線或部分實驗分析設備。按照有償服務或互惠互利原則共享設備儀器資源,創建各院校之間和與企業之間的“微電子工藝綜合共享實驗平臺”可極大的提高集成電路工藝及其實驗課程教學效果,即解決了一些院校資金短缺問題,同時也部分補償了大型設備的日常使用和維護費用問題。其綜合共享實驗平臺包括金屬有機化合物MOCVD沉積技術、分子束外延、RF射頻磁控濺射、XPS、XRD及AFM分析測試、光刻、離子注入等涉及投資巨大的儀器設備實驗項目。
(3)拓展實踐能力的校企合作,讓學生帶著理論知識走進企業的真實工程環境,探索利用企業先進的工藝線資源進行工藝實驗教學與參觀實習6-9]。參觀實習能夠使學生對集成電路的生產場地,超凈環境要求具有深刻的感性認識,對單晶硅制造流程、芯片制造工藝過程以及芯片的測試和封裝的了解也更加系統和全面。同時利用假期安排學生去企業實習,讓學生參與企業的部分生產環節,親身感受實際工藝生產過程,增加學生對企業的了解,也利于企業選拔優秀學生。
(4)工藝視頻與工藝實驗輔助教學,由于微電子工藝內容與生產密切結合,不能單靠抽象的書本知識教學,對于學生無法了解到的一些工藝實驗與設備,可通過錄像教學來補充。本學院購置了清華大學微電子所的集成電路工藝設備錄像與多媒體教學系統,結合國外英文原版的工藝流程視頻,通過工藝視頻把實際工藝流程、設備和設備操作等形象地展示在課堂。多媒體教學系統提供了氧化、擴散和離子注入三項工藝設備操作模擬,可使學生身臨其境地對所學的基本工藝進行簡單的模擬。同時結合課堂教學開設半導體平面工藝實驗,主要包括以:氧化、光刻、擴散、蒸鋁、反刻、劃片、裝架、燒結、封裝。實驗以教師講解與學生動手相結合,既培養了學生的實際動手能力,又使學生掌握了科學分析問題的方法,激發了學生的學習興趣,加深學生對課堂理論知識的理解。
3.3多元化的考核評價體系
對學生的考核是對其具體學習成果的度量,也是檢驗教學改革成效的重要手段,為了更科學合理的考核學生,我們建立了多元化的更加注重過程參與的考試評價體系,降低了期末考試在總成績中所占比例,最大限度避免學生靠死記硬背來應付考試和學生創新思維被抑制、高分低能現象產生。這種多元化、過程性的成績評定方法,強調知識的積累與構建過程,消除了學生重理論輕實踐,考前死記硬背應付考試的弊病??傇u成績由平時成績和期末考試成績兩部分構成。但加大平時成績的權重,平時成績即包括了作業與考勤,還包括綜合性實驗成績、設計仿真、國外工藝視頻翻譯、專題小論文和專題PPT論壇團隊成績等。同時在期末考題中增加openanswerquestion型、工藝過程設計型題目110-11。
4結語